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鋰電池極片測量設備
應用場合
光學膜涂布、太陽能晶圓、超薄玻璃、膠帶、Mylar膜、OCA光學膠、光阻等測量。
應用在涂膠工序時,該設備可放置于涂膠池后、烘箱前,在線測量涂膠的厚度; 也可以在線測量離型膜涂布的厚度。其精度極高,應用甚廣,尤其適合厚度要求達到納米級的透明多層物體的厚度測量。
產品性能/參數
測量范圍: 0.1pm~100μm
測量精度: 0.4%
測量重復性: ±0.4nm (3σ )
波長范圍: 380nm~1100nm
響應時間: 5~500ms
測量光斑: 1mm~30mm
動態掃描測量重復性:10nm
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備案號:
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